盛美上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机
2022-12-29 9:45:41
此外，盛美上海将于2023年推出i-line型号设备，并且公司已开始着手研发KrF型号设备。前道涂胶显影Track设备Ultra LITH的出货是盛美上海持续拓展产品系列的又一成果，公司致力于成为晶圆级的工艺解决方案平台，旗下产品还包括单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备，及PECVD设备。
2022-12-29 9:45:41
