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2022年度审计报告及财务报表
2022年度内部控制审计报告
2022年度内部控制评价报告
2022年度募集资金存放与实际使用情况专项报告
2022年度独立董事述职报告
北京市金杜律师事务所上海分所关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司2023年第一次临时股东大会之法律意见书