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海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2021年度持续督导跟踪报告
独立董事关于对外担保情况的专项说明
2021年年度报告
2021年年度报告摘要
关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2021年度募集资金存放与使用情况专项报告的鉴证报告
海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2021年度募集资金存放与实际使用情况的核查意见
