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    2023-02-25

  • “盛美半导体设备研发与制造中心”厂房A封顶大吉

    2023-01-10

  • 盛美上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机

    2022-12-29

  • 湿法设备出货量再创新高，突破三千腔大关

    2022-11-17

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    2022-08-23

  • 盛美上海前道铜互连电镀设备荣获第五届“集成电路产业技术创新奖”

    2022-07-11
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