盛美上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机

湿法设备出货量再创新高，突破三千腔大关

庆祝盛美上海ECP设备500电镀腔顺利交付！

盛美上海前道铜互连电镀设备荣获第五届“集成电路产业技术创新奖”

盛美上海与客户签订Ultra ECP ap高速电镀设备批量采购合同

盛美上海18腔300mm Ultra C VI单晶圆清洗设备投入量产