TEBO兆声波清洗设备

应用于无损伤微小缺陷去除工艺，及更精细的高纵横比的3D结构

盛美持有的专利技术(中国发明专利;专利号:ZL 2015 8 0080188.8)——时序能激气穴震荡（TEBO）技术，使用创新的兆声波清洗方式来实现无损伤清洗，可应用于现在和未来几代先进器件中，如3D图形片，极小尺寸，高深宽比结构等。

TEBO----用于先进器件的清洗技术

主要优势

智能兆声波技术

使用便捷

精确控制

减少成本、保护环境

最多可配至12套清洗腔体, 产能可达375 片/小时

具有双面清洗能力, 最多可配至5种清洗药液，工艺灵活

最多可以回收2种药液

使用高温IPA干燥技术

配备TEBO智能兆声波组件

集成式药液供给模块，可供给DHF，SC1，SC2, 功能水，二氧化碳水等