主要优势

具有高产、可靠和稳定的性能。通过高精度的温度控制技术、良好的均匀性和小颗粒控制，来保持优异的薄膜质量；

通过更高性能的增强设计实现高产能，并减少停机维护时间；

运用气体对腔体进行干法清洗，来控制小颗粒杂质；

装载区运用低氧控制技术以抑制晶圆表面的自然氧化。

特性和规格

可以一次性操作装载的晶圆数量为50-125片（晶圆/批）

可配备快速升降温控制系统

腔体原位干法清洗系统